拉晶炉激光硅液液位仪

        硅棒在拉晶生长的过程中， 硅液液面高度的稳定性对晶棒生长的质量有很大的影响。 由于硅液温度在1 4 5 0° C 以上， 导致硅液液位无法测量， 从而导致拉晶过程无法精确控制。

        拉晶炉激光硅液液位仪也叫拉晶炉液位测量或拉晶炉液口距测量。激光硅液液位仪是一种高精度的测量设备，主要用于监测和测量单晶硅炉内硅液的液位。通过激光反射原理进行非接触式测量，具有高精度和高分辨率，能够准确反映液位的微小变化。激光硅液液位仪专用于半导体行业拉晶过程的测量，如：稳温、引晶放肩、转肩、等径、收尾全阶段的液位测量，液位仪把高度数据上传给拉晶炉控制系统，控制系统对液位进行相应的调整，从而控制硅液液位的稳定性。

  应用成果：

>> 测量精度高：可达到0.3mm
>> 耐高温：能够测量高达1600℃的高温液体，并保证测量结果的稳定性和准确性。有风冷或水冷保护
>> 易集成：可以与现有的拉晶炉设备兼容，调试方便。实现数据共享和远程监控