拉晶炉激光硅液液位仪

        硅棒在拉晶生长的过程中， 硅液液面高度的稳定性对晶棒生长的质量有很大的影响。 由于硅液温度在1 4 5 0° C 以上， 导致硅液液位无法测量， 从而导致拉晶过程无法精确控制。

        激光硅液液位仪专用于半导体行业拉晶过程的测量，如：稳温、引晶放肩、转肩、等径、收尾全阶段的液位测量，液位仪把高度数据上传给拉晶炉控制系统，控制系统对液位进行相应的调整，从而控制硅液液位的稳定性。

  应用成果：

>> 测量精度高，可达到0.3mm
>> 耐高温，可测量1450"C的高温物体高温环境下稳定运行，有风冷或水冷保护
>> 传感器尺寸:220X110X60mm