短波红外相机应用领域介绍

短波红外相机是一种用于拍摄短波红外光谱范围内的相机。短波红外光谱范围通常在1微米到3微米之间。短波红外相机能够捕捉到人眼无法看到的红外辐射，因此在很多领域有广泛的应用。

1半导体晶圆检测

晶圆是一种薄的半导体材料基材，用于制造电子集成电路。半导体材料种类多样，其中最常用的一种半导体材料是硅(Si)。

晶圆在生产过程中会产生各种缺陷，比如在各环节累积的残余应力会使得晶圆内部产生裂纹。如果未能在后续IC制造环节之前把这些缺陷检测出来，就会影响最终成品IC芯片的良率，推高制造成本。利用短波红外光能穿透硅片的特性，使用短波红外相机就能检测到硅片内部的缺陷，防止不良晶圆流入后续环节，大大降低制造成本。

2物品分选

短波红外波段对应分子键振动的合频和倍频，通过检测物品对不同波长的短波红外光的吸收情况，就能分析出物品的种类和缺陷等信息。因此，短波红外相机也被广泛用于谷物、茶叶、塑料等的分拣。

3短波红外测温

对于几百度以上的高温目标，短波红外测温相对于目前常用的非制冷长波红外测温具有测温稳定、精度高、响应速度快等优势。使用短波线扫相机，对于传送带上快速移动的物体进行成像和测温，可以极大地消除拖尾效应的影响，得到画质清晰、测温准确的短波红外图像。

4光伏板隐裂检测

在晶体硅太阳电池的生产过程中，会产生隐裂、划伤等缺陷，这些缺陷限制了电池的光电转换效率和使用寿命，然而这些缺陷大部分是难以通过肉眼或可见光成像等手段检测出来。利用硅太阳能电池具有的电致发光（EL）和光致发光（PL）特性，可以通过外加正向偏压或激光照射激发的方式，使太阳能电池片自身发出短波红外光。而缺陷区域的发出的光相对于正常区域会有明显的差别，通过短波红外相机对激发状态下的太阳能电池片进行检测，就能有效地检测出其内部缺陷。